產(chǎn)品型號
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產(chǎn)品分類
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v 晶圓甩干機系高潔凈度的沖洗旋干設(shè)備。主要系應(yīng)用于硅晶圓、掩模板、太陽能電池等材料的高潔凈度沖洗旋干。設(shè)備具有單工作室、雙工作室兩種結(jié)構(gòu)
v 產(chǎn)品類型：有立式單腔，雙腔晶圓甩干機(2-12寸)，水平多工位甩干機(2-12寸)
v 單次甩干數(shù)量1-25塊
v 作業(yè)程序：沖洗、烘干的步驟順序、時間、 轉(zhuǎn)速等可分段編輯，（可設(shè) recipe 為 10 個）
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