產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類(lèi)
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v 本套系統(tǒng)主要用于材料表面形貌的觀察；平面或三維測(cè)量?？刹捎?/span>3D觀測(cè)模式，對(duì)被測(cè)物形狀，粗糙度，表面積等進(jìn)行測(cè)量，可以做高度，寬度，橫截面，角度，R值，表面積，體積，線(xiàn)粗糙度，面粗糙度等的測(cè)量分析。同時(shí)可以做材料斷口、金相的觀測(cè),陶瓷，微流道，微加工，現(xiàn)代加工制造,MEMS研究，微納制造等
v 光源類(lèi)型：≤404nm半導(dǎo)體激光
v X/Y方向測(cè)量顯示分辨率：1nm
v Z向測(cè)量顯示分辨率：0.5 nm
v 面掃描速度：≥125Hz、線(xiàn)掃描速度：≥7900Hz
v 角度特性：穩(wěn)定測(cè)量?jī)A角≥87.1度的斜面
v XY載物臺(tái)電動(dòng)運(yùn)行范圍：≥100mm*100mm
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