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v FE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富，樣品處理相對(duì)簡(jiǎn)單，并且它可以觀察、測(cè)量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學(xué)、材料等領(lǐng)域
v 電子槍種類：冷場(chǎng)發(fā)射
v 二次電子圖象分辨率：0.6 nm@15kV；0.7nm@1kV
v 放大倍數(shù)：20-2,000,000x
v 加速電壓：0.5-30kV
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