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產(chǎn)品分類
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v 應(yīng)用范圍：對重摻雜碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進行退火，形成良好的歐姆接觸
v 加工尺寸：4inch、6inch
v 加工速度：1000mm/s
v 加工精度：±1μm
v 平臺參數(shù)：行程300mm×300mm
v 重復定位精度：±0.001mm
v 激光器參數(shù):紫外
v 稼動率:98%以上
v 重大故障間隙時間:＞1000H
v 良率:≥99.5%
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