產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類
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v 應(yīng)用：用于半導(dǎo)體材料內(nèi)部含量檢測(cè),同質(zhì)外延厚度測(cè)量和其他應(yīng)用，用于的半導(dǎo)體工廠，在硅生長(zhǎng)和器件制造領(lǐng)域進(jìn)行材料表征
v 光譜范圍：遠(yuǎn)紅外、中紅外、近紅外、可見光
v 信噪比：>55000:1
v 光譜分辨率（cm-1）：<0.09電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
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